窒化ケイ素は、炭化ケイ素、酸化アルミニウム、二酸化トリウム、窒化ホウ素などと強力な結合を形成できるため、結合材料として使用したり、さまざまな比率で修飾したりできます。また、窒化ケイ素は太陽電池にも応用できます。
PECVDによってシリコン窒化膜が堆積された後、それを反射防止膜として使用して、入射光の反射を低減できるだけでなく、シリコン窒化膜の堆積中に、反応生成物水素原子がシリコンに入る窒化膜とシリコンウェーハがパッシベーション欠陥の役割を果たしました。
ここでの窒化ケイ素と窒化ケイ素の数の比は厳密には4：3ではなく、異なるプロセス条件に従って特定の範囲内で変動します。原子比の違いにより薄膜の物性が異なり、超高温ガスタービン、航空機エンジン、電気炉などに使用されています。
