窒化ケイ素セラミック製品の製造方法には、反応焼結法とホットプレス焼結法があります。反応焼結法は、一般的なセラミック製品の製造方法に従って、シリコン粉末またはシリコン粉末と窒化ケイ素粉末の混合物を形成する方法である。その後、窒化炉で1150〜1200℃で前窒化します。一定の強度を得た後、工作機械で機械加工し、さらに1350〜1450℃で18〜36時間窒化して窒化ケイ素になります。 。
この方法で製造された製品は、サイズが正確で、量が安定しています。ホットプレス焼結法は、窒化ケイ素粉末と少量の添加剤（MgO、Al2O3、MgF2、AlF3またはFe2O3など）を19.6MPaを超え、1600〜1700℃の圧力で焼結する方法です。一般に、ホットプレス焼結法で作られた製品は、反応焼結で作られた製品よりも密度が高く、性能が優れています。表1に、これら2つの方法で製造された窒化ケイ素セラミックの特性を示します。
