Henry Edin St. Claire DevilleとFriedrich Wheelerは、1857年に窒化ケイ素の合成を最初に報告しました。彼らが報告した合成方法では、シリコンで満たされた別のるつぼが炭素で満たされたるつぼに埋め込まれ、酸素の浸入を減らすために加熱されました。彼らは彼らが窒化ケイ素と呼んだものの製品を報告したが、彼らはその化学組成を理解できなかった。
1879年、Paul Schuetzenbergerはシリコンをライニング（木炭、石炭、またはコークスを粘土と混合することにより得られるるつぼライニングとして使用できるペースト）と混合し、高炉で加熱して成分として報告しました。 Si3N4の化合物。
1910年に、Ludwig WeissとTheodor Engelhardtは、純粋な窒素下でSiを加熱してSi3N4を得ました。 1925年に、FriederichとSittigは炭素熱還元法を使用して、窒素雰囲気下でシリカと炭素を変換しました。窒化ケイ素を合成するには、1250〜1300℃に加熱します。
